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      電子生產企業潔凈系統工程

      《電子工廠潔凈廠房設計規定》GB50472-2008中規定

      集成電路對化學污染物的控制指標

      潔凈室(區)溫度和相對濕度要求

      潔凈送風量(靜態)和氣流流形

      防靜電環境設計分級使用場所

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